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【EU PVSEC】AMAT使用2种制造设备试制串联结构的薄膜硅太阳能电池

DATE	2007/09/10

　　【日经BP社报道】

AMAT展区展示着面积达5.7m2的超大底板

　　太阳能电池国技术际学会“EU PVSEC”进入第3天，薄膜太阳能电池为发表的中心。本届学会的特点是“制造设备厂商的发表量较往年大幅增长”（太阳能电池研究人员）。

　　在第3天的首场会议“Amorphous and Microcrystalline silicon Large-Area Depositon”上，制造设备厂商接连发表成果。计划将太阳能电池相关业务作为支柱业务之一的美国应用材料（Applied Materials，AMAT）在会议发表的6项成果中占了2项。该公司在学会举办之际，发表了名为“SunFab Thin Film Line”的薄膜硅太阳能电池模块一条龙生产线概要。

　　AMAT发表了利用2种制造设备试制层叠有非结晶硅和微晶硅的串联结构薄膜硅太阳能电池的成果（演讲序号：3CO.1.1“The Use of a Vertical In-Line Reactor for Advanced s-Si/uc-Si Tandem Cell Development”，演讲序号：3CO.1.5“Deposition of Amorphous Silicon/Microcrystalline Silicon Tandem Cells Using Cluster PECVD Tool on Jumbo Size Substrates (Gen8)”）。

　　最先发表的产品使用了底板相对于地面呈垂直方向搬运的串联型（In-Line）制造设备。在面积为1.4m²的底板上形成了串联结构的薄膜硅太阳能电池，经测量，模块各处的转换效率平均值为10.4％。

　　在后半部分的发表中，AMAT发表了试制群集型（Cluster）制造设备的结果。使用面积达5.7m²的超大底板，实现了9.1％的转换效率平均值。对此，与会的制造设备厂商技术人员好评到，“作为最初的成果，转换效率等各项指标在底板内的变动幅度较小”。（记者:河合基伸）

■日文原文
【EU PVSEC】AMAT，2種類の製造设备でタンデム構造の薄膜Si太陽電池を試作

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