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【FPD】爱发科展示用喷墨打印方式形成的ITO布线

DATE	2007/10/31

　　【日经BP社报道】

试制的ITO布线

喷墨打印用墨料

以喷墨打印方式试制的ITO布线的制造装置

　　日本爱发科（ULVAC）在“FPD International 2007”上展出了在玻璃底板上以喷墨打印方式形成的ITO布线。玻璃底板尺寸为100mm×100mm，布线宽度为100μm。“此前曾有过以喷墨打印方式形成Ag及Au布线的案例，而展出ITO布线试制结果的还是首次”（解说员）。

　　ITO墨料由爱发科材料（ULVAC Materials）开发。其特点是：粒子直径小，喷嘴不易堵塞，而且粒子分散性出色，材料寿命长。溶剂采用十氢萘（Decahydro Naphthalene）。涂布墨料后，在减压下加热到230℃，黑色墨料就会变成透明状态。

　　课题是电阻较高。以溅射方式形成时的ITO薄膜电阻为50Ω/□，以喷墨打印方式形成时的ITO薄膜电阻为400Ω/□，高出前者1位数。（记者：河合基伸）

■日文原文
【FPDI】アルバック，インクジェットで形成したITO配線を展示

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