【了解MEMS的本质】（1）：“MEMS不等于小型机械”--技术在线!

HOME > 半导体/微器件 > 【了解MEMS的本质】（1）：“MEMS不等于小型机械”

【了解MEMS的本质】（1）：“MEMS不等于小型机械”

DATE	2005/09/05

　　【日经BP社报道】

图1

图2

　　本网站将推出由日本东北大学研究生院工学研究科纳米力学专业教授江刺正喜撰写的连载文章。本连载将结合具体事例，向读者介绍应当如何理解MEMS技术，并将其逐步应用于LSI业务中。（三宅常之，《日本微器件》）

　　MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统）技术，可在硅底板上集成传感器和激励器等独立元件。该技术将会成为系统LSI新的特色化手段（图1）。基于这种认识，MEMS的研究与开发在欧美非常活跃，在台湾已经形成期盼已久的MEMS代工业务。

打破系统LSI的极限，MEMS成为特色化手段

　　系统LSI存在的问题是难以集成传感器和激励器等独立元件。由于独立元件都采用复杂的立体结构以及非硅类材料，因此从目前来说通常都在LSI之外另行封装于主板上。尽管集成度越来越高，LSI本身的单芯片集成也在不断发展，但假如独立元件的集成没有进展的话，就很难实现整个系统的小型与高性能化。

　　MEMS技术就能解决系统LSI存在的上述问题。由于MEMS以LSI的加工工艺为基础，因此便于在系统LSI中采用。另外，由于能够处理立体结构和各类材料，因此将会成为对独立元件进行单芯片集成的最有效手段。

　　系统LSI在制造方面的特色化手段有很多。虽说都叫做MEMS，但其种类却不胜枚举，比如，显示器、光开关、高频滤波器、加速度传感器等等（图2）。看准这一点，将MEMS作为系统LSI的特色化手段而加以运用的尝试，尤其是在欧美地区非常活跃。比如，意法半导体公司（ST）已将MEMS定位于系统LSI技术，现已发布了混载加速度传感器和光开关的产品。

“MEMS不等于小型机械”

　　与欧美相比，日本对MEMS的重要性却不甚了解。MEMS在日本往往被称为“微机械”，不少人甚至还会联想到将整个机械缩小而成的像虫子一样的小型机械。

　　比如，日本推进的为期10年的国家级项目——“微机械项目”，尽管已于2000年度结束，但在强化产业竞争力方面并没有起到很好的作用。其中最大的原因就是作为该项目前身的“极限作业机器人项目”是以机械技术为中心的。如今正在重新审视以官僚思想而不是产业支援的观念进行研究的做法。

　　另一方面，日本产业界则需要MEMS技术，并且将研究人才派到大学进行研究与开发。但与在政府支持下以业务思想推进MEMS研发的欧美、韩国和台湾等相比，技术水平相对落后。尤其是能开发却不能生产的局面仍在继续，日本的产业将来能否利用电子元件和系统为世界做贡献都令人担忧。（未完待续。特约撰稿人：江刺正喜）

■日文原文
特別連載「MEMSの本質を理解する」（1），「“MEMS＝小型機械”という誤解」

■相关报道
【FDK】MEMS电感器实用化难关重重

 【MEMS on MOT】（1）：半导体与MEMS有何不同？

07年MEMS市场“元件将达70亿美元”

更多展会